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光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點

2019-12-31 點擊數(shù):2894
LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
A、無塵車間
潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。
B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5。
(2)新風量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值:非單向流潔凈室總送風量的10-30;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
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